微结构片外弯曲测试装置及试样设计

冯永平，罗华云

力学季刊 ›› 2016, Vol. 37 ›› Issue (2) : 372-380.

力学季刊 ›› 2016, Vol. 37 ›› Issue (2) : 372-380. DOI: 10.15959/j.cnki.0254-0053.2016.02.019
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微结构片外弯曲测试装置及试样设计

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Design of Test Apparatus for Bending Micro-Structure and Test Specimens Made of Silicon

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