一种基于疲劳损伤的MEMS金属薄膜电阻退化模型 陈传龙
陈传龙, 沈辉, 戴隆超, 陈玄奕, 张锦烨, 程家幸
力学季刊 ›› 2023, Vol. 44 ›› Issue (4) : 845-853.
一种基于疲劳损伤的MEMS金属薄膜电阻退化模型 陈传龙
A Fatigue Damage-Based Model for the Degradation of Resistance in MEMS Metal Films
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